Началось массовое внедрение 45-нм процесса

Наука
мобильная версия
14 декабря корпорации Toshiba, Sony и NEC Electronics объявили об успешном завершении совместной разработки и массовом производстве платформы для создания больших интегральных схем (БИС) будущего поколения на основе 45-нм техпроцесса.

Заявление о разработке этой технологии было сделано 13 декабря на сессии 27.2 2006 года на Международной конференции по электронным приборам (IEDM) в г. Сан-Франциско, Калифорния.

Ключевыми компонентами новой платформы является полностью обновленная схема транзистора и гибридная структура с пленкой, обладающей малой диэлектрической постоянной (low-k), которая гарантирует высокую производительность и надежность.

В процессе создания транзисторов на кристалле была применена технология деформации, которая использует локальные искривления кристаллической решетки в ключевых узлах для увеличения производительности. Путем оптимизации местных деформаций кристаллической решетки удалось на 30% повысить производительность по сравнению с существующей технологией производства транзисторов.

Применение пленки с низкой проводимостью в промежуточном слое металла чипа на обратной стороне позволило снизить паразитические сопротивления и улучшить характеристики электрической цепи. Пленка с изолирующим слоем затвора обладает 15-летним сроком службы, что превосходит нынешние показатели высокоэффективных систем для производства БИС.

Длительное тестирование платформы показало, что характеристики слоя удовлетворяют показателям долговечности более чем на 98%, что подтверждает достаточную надежность технологии, необходимой для массового производства. Применение иммерсионной литографии со сверхвысокой (более 1) числовой апертурой (NA) для формирования узлов транзистора позволяет получить ячейку площадью 0,248 мкм 2 для памяти сверхвысокой плотности (UHD-SRAM).

Три компании одновременно разрабатывают две платформы для создания БИС на основе норм 45-нм процесса — современную платформу, которая идеальна для высокоэффективных БИС, а также платформу для использования в соответствии с требованиями низкого энергопотребления, которые, как ожидается, будут завершены в начале 2007 года.